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本文介紹和給出了擴散泵的主要尺寸、參數(shù)的設計與計算，并對抽氣速率、蒸發(fā)面積及噴咀設置與返流率等問題進行探討。
1、概述
自1913 年Gaede 發(fā)明擴散泵至今已有101 年，在此期間技術上已經(jīng)有很大進步。現(xiàn)在生產(chǎn)的油擴散泵抽速已達到100000 L/s 以上，擴散噴射泵的抽速也達40000 L/s，蒸汽流真空泵在真空應用領域中起著十分重要的作用。盡管有許多其它類型的抽氣方式也可以在高真空領域工作，但由于擴散泵結構簡單、操作和維護方便、使用壽命長、對各種氣體均有較好的抽氣特性，因而它一直是獲得高真空的主要抽氣設備
上個世紀80 年代，真空行業(yè)協(xié)會組織行業(yè)內(nèi)企業(yè)到歐洲考察并引進兩臺油擴散泵作為樣機進行泵的性能測試，測試地點選在蘭州真空設備廠和北京儀器廠，測試結果為：蘭州廠測試結果(泵口直徑準400 mm)抽氣速率，在1.3×10-3~6.7×10-2 Pa 時平均值為工作液DC-704 5820 L/s 抽速系數(shù)0.399KS-3 5725 L/s 抽速系數(shù)0.393北京廠測試結果(泵口直徑準320 mm)抽氣速率在1.3×10-3~6.7×10-2 Pa 時平均值為3600 L/s，抽速系數(shù)為0.386。
擴散泵中的油在真空中加熱到沸騰溫度（約為200度）產(chǎn)生大量的油蒸氣，油蒸氣經(jīng)導流管由各級噴嘴定向高速噴出。由于擴散泵進氣口附近被抽氣體的分壓強高于蒸氣流中該氣體的分壓強。這樣，被抽氣體分子沿著蒸氣方向高速運動，氣體分子碰到泵壁又反射回來，再受到蒸氣流碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。經(jīng)過幾次碰撞后，氣體分子被壓縮到低真空端，再由下幾級噴嘴噴出的蒸氣進氣多級壓縮，最后由前級泵抽走，而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到下層重新被加熱，如此循環(huán)工作達到抽氣目的。
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